真空泵是指采用机械、物理、化学或物理化学方法从被抽容器进行抽气,从而获得真空的设备或器件。 一般而言,真空泵是使用各种方法来改善、产生和维持某一个封闭空间中的真空环境的装置。在锂电池、光伏、半导体面板等对真空要求苛刻的领域中,生产商通常需要极其清洁的环境,以确保产品在生产过程中不受空气污染或干扰的影响。例如,在生产半导体器件的过程中,每个半导体器件包含了多层材料,如果气体分子混合在这些不同的材料层之间,将会造成器件的电学或光学特性的破坏;或者在加工半导体器件的过程期间,需要用诸如电子束、离子束和分子束之类的粒子照射和轰击材料,在大气中,气体分子将与这些粒子碰撞,从而大大缩短其行进路程,从而导致绝大多数粒子无法到达材料表面。因此,真空泵是锂电池、光伏、半导体面板等领域中必不可少的通用设备,而这些领域对真空条件的高标准,也对真空设备提出了更高的技术要求。
我们回顾2019年全球半导体投资逐步放缓,预计2020年回暖。2019年全球半导体市场规模4110亿美金,同比下降12.36%,在全球经济大环境下行的背景下,受中国大陆智能手机销量等因素的影响,2019年的全球半导体行业市场出现萎缩。半导体投资与行业市场规模高度同步,对照全球半导体行业投资规模,2018/2019年投资规模774.44/718.15亿美元,同比下降比例达0.45%/7.27%,连续两年下滑。而受益于技术革新需要以及5G网络更新设备的需求,预计2020年全球半导体行业资本支出将回暖至732.40亿美金,同比增长1.98%。
中国大陆真空泵市场规模2019-21年达36/65/80亿元;2018年中国大陆/中国台湾晶圆在运产能折合8寸约236.1/412.6万片/月(折合12寸约104.9/183.4万片/月),2019年新增产能折合8寸约39.09万片/月(折合12寸约17.4万片/月),据统计当前在建FAB厂产能合计折合12寸约92.6万片/月,按20/21年分别投产42.6/50万片/月测算,中国大陆真空泵市场规模2019-21年分别为36/65/80亿元,年均增速近50%。
二、半导体真空泵行业特点
半导体用真空泵对产品可靠性、定制化、能源效率要求较高。
1.可靠性:半导体用真空泵由于直接关系到芯片的性能、良率,对产品可靠性有较高要求,工作过程需要不断保养,而可靠性高的产品能减少维修次数,明显降低客户的使用成本。
2.定制化:在半导体制造领域,由于每条生产线工况都不尽相同,客户对解决方案和产品的需求更加定制化,“万金油”式的真空泵产品的市场竞争力将会逐渐减弱。
3.能源效率:在Fab能源消耗中,真空产品的能耗占整个能源消耗的20%,提高能源效率能够明显减少客户的能源消耗。
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