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昊青气体装备技术（江苏）有限公司 
2020-08-12
由于各种电真空器件的工作原理是基于电场、磁场来控制电子在空间的运用，以达到放大、震荡、显示图像等目的。因此，避免电子与气体分子间的碰撞，保证电子在空间的运动规律，防止发射热电子的阴极氧化中毒，把电子器件内抽成不同电真空器件所要求的不同真空度，保证电子器件的正常工作，是非常必要的。
目前，电真空工业中所产生的电真空器件主要有各种电子管（整流管、发射管、收信管、速调管、行波管、磁控管、光电管等）；各种离子管（泵弧整流管、引燃管、计数管、闸流管、噪音管、雷达电线开关等）；各种电子束管（示波管、摄像管、显像管、X光管、变像管等）；各种电光源管（照明灯、光谱灯、仪器用灯灯）以及中子管、电子衍射仪、电子显微镜、X光显微镜，各种粒子加速器、质谱仪、核辐射谱仪、气体激光器以及利用真空中电子束进行除气、熔炼、区域提纯、难熔金属和介质的熔化和钻孔，开槽切割、放射性同位素的蒸发、难熔金属的焊接等许多方面。这些电子器件及工艺，在近代科学和近代大工业生产中所起的作用是不言而喻的。
电真空器件工作时本身是一个非常复杂的物理-化学系统，在它里面可能同时进行着许多物理、化学过程，像吸附和脱附、扩散与迁移、化合与分解等等，这些过程的进行方式与程度和除气结果关系很大。如果除气不彻底，对器件性能的影响主要涉及下述几个方面：
首先是如果除气不彻底，那残余的气体中的一些成分可能会与电真空器件中阴极发生有害的化学反应，损害阴极的发射能力。
其次是电真空器件若除气不彻底，使用中残余气体电离形成大量的正离子使空间的电子电荷部分中和，造成电位分布畸变，影响电真空器件器件的特性。如使栅流增高、噪声增大等。另外正离子在电场的作用下飞向低电位电极（特别是阴极），使电极表面产生溅射，溅射物又沉积到其他电极和绝缘体上，可能引起漏电、打火、二次发射等现象。
第三就是残余气体会加快电真空器件内的物质迁移过程。具体的，有实验表明如电真空器件内含侵蚀性气体（SO2、Cl2、O2等）且含量较高时，一些金属（如Cu）在低温下会迅速蒸发。
为避免上述情况的出现，电真空器件在除气过程中还要综合考虑器件材料的理化与真空性能，以及真空中的物质迁移过程，阴极、消气剂与各种气体的相互作用，另外还需要正确选择与使用真空排气系统。昊青气体装备在电子/半导体行业积累了丰富的应用案例，不断为广大客户提供稳定可靠的真空环境。
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