在半导体行业中应用真空泵时，有哪些安全问题不能忽略？

昊青气体装备技术（江苏）有限公司

2020-12-03

昊青气体装备出品的EVS系列永磁变频螺杆真空泵，环境友好度高，并且拥有较宽抽速范围和优异的节能性、稳定性和易维护等优点，在半导体行业得到了普遍的应用。在这里，昊青气体装备跟大家一起探讨下在半导体行业中使用真空泵一些不容忽视的安全问题。

真空泵在半导体行业中，主要用于在蒸发、溅射、PECVD、真空干法蚀刻、真空吸附、真空清洁、测试设备和其他粘合工艺。在半导体制造过程中，极其容易产生易燃、易爆和有毒的气体，它将直接威胁到生产和人员安全。因此，半导体行业的广大客户在应用真空泵时，需要注意以下一些安全事项：

1、保持真空泵和其他附件、过滤器和管道的清洁，以避免超压
真空泵应用在半导体行业中，气体介质被抽取时会通过反应室和真空泵，其组成可能非常复杂，例如SiH₄和O₂会在泵口发生化学反应形成SiO₂，而TiCl₄则会水解形成HCl。如果是油封机械泵，这些气体物质也可能与润滑油混合发生化学反应。假设这些变化形成了颗粒、可凝物或腐蚀性介质，就可能会阻塞真空泵或管道系统，直接影响真空泵的性能，导致压力升高或超压。因此，真空泵需要及时得到清洗，必要时还应安装过滤设备。

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2、切实有效的降低有害气体的浓度
如上文所言，半导体行业易产生易燃、易爆和有毒有害的气体，因此在半导体行业应用真空泵抽取这些气体时，必须防止其在真空泵中或在排放过程中发生不可控制的反应。例如SiH₄、PH₃、AsH₃、B₂H₆等物质与空气或氧气接触时，会引起燃烧甚至爆炸；当氢气在空气中的混合比达到一定浓度和温度时，也会燃烧，这些都取决于物质的量以及与环境的压力和温度。因此，半导体行业在应用真空泵提取这些介质时需要使用氮气等惰性气体，在压缩之前就将这些气体稀释到安全范围。

3、密切注意氧气的浓度
如果空气中的氧气浓度过高，则有燃烧和爆炸的危险，因此在某些情况下必须密切注意氧气的浓度，使用惰性气体稀释以防止氧气浓度过高。如果是油封机械泵则可能需要使用一些惰性且与氧气相容性好的真空泵油，并且应及时更换真空泵油及其油滤。

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4、防止温度过高
这一点就比较容易理解了。真空泵在半导体行业应用时，有害气体会比较多，泵腔中的温度都比较高，而在高温下易燃、易爆和有毒气体很容易发生危险。

以上就是半导体行业在应用真空泵时最重要的几个安全问题，我们切不能忽略它们。

昊青气体装备作为一家专业研发和制造永磁变频螺杆真空泵和鼓风机的生产厂家，旗下产品效率更高且稳定节能，享有完备的售后保障服务。如果您想更多地了解昊青永磁变频螺杆真空泵和鼓风机，欢迎留言咨询或拨打昊青气体装备全国24小时免费客服热线：400-068-5898。

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