真空科学的应用领域非常普遍，目前已经渗透到电子、半导体、平板显示、精密金属及玻璃加工、印刷及包装、烟草、木工家具、制瓶制罐、复合材料、陶瓷制砖、航空航天、高空模拟等工业部门和科学研究工作中。

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DB37/T 2435-2013 真空泵质量评价技术规范

GB/T 13929-2010 水环真空泵和水环压缩机 试验方法

GB/T 13930-2010 水环真空泵和水环压缩机 气量测定方法

GB/T 19955.1-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率(抽速)的测量

GB/T 19955.2-2005 蒸汽流真空泵性能测量方法 第2部分：临界前级压力的测量

GB/T 19956.1-2005 容积真空泵性能测量方法 第1部分：体积流率(抽速)的测量

GB/T 19956.2-2005 容积真空泵性能测量方法 第2部分: 极限压力的测量

GB/T 21271-2007 真空技术 真空泵噪声测量

GB/T 21272-2007 蒸汽流真空泵性能测量方法 泵液返流率和加热时间的测量

GB 22360-2008 真空泵 安全要求

GB/T 25753.1-2010 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法　第1部分：最大允许压差的测量

GB/T 25753.2-2010 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第2部分：零流量压缩比的测量

GB/T 25753.3-2011 真空技术 罗茨真空泵性能测量方法 第3部分:溢流阀压差的测量

JB/T 10134-1999 带真空泵交流发电机

JB/T 10462-2004 水喷射真空泵国家发展和改革委员会

JB/T 10552-2006 真空技术 爪型干式真空泵

JB/T 10770-2007 真空技术 液环真空泵验收规范

JB/T 11080-2011 真空技术 涡旋干式真空泵

JB/T 11237-2011 真空技术 多级罗茨干式真空泵

JB/T 11238-2011 真空技术 液环真空泵效率

JB/T 11716-2013 真空技术 螺杆型干式真空泵

JB/T 1246-2007 真空技术 滑阀真空泵

JB/T 6533-2005 旋片真空泵

JB/T 6921-2004 罗茨真空泵机组

JB/T 7255-2007 水环真空泵和水环压缩机

JB/T 7265-2004 蒸汽流真空泵

JB/T 7673-2011 真空技术 真空设备型号编制方法

JB/T 7674-2005 罗茨真空泵

JB/T 7675-2005 往复真空泵

JB/T 8107-2011 容积真空泵 振动测量方法

JB/T 8540-2013 水蒸气喷射真空泵

JB/T 8944-2010 单级旋片真空泵

JB/T 9808-2013 挤奶用真空泵

QB/T 1444-1992 ZBK型轻式专用两叶罗茨真空泵

QB/T 1445-1992 湿式罗茨真空泵性能测试方法

QC/T 958-2013 汽车真空泵性能要求及台架试验方法

SH/T 0528-1992 矿物油型真空泵油

SH/T 3162-2011 石油化工液环真空泵和压缩机工程技术规范

SJ/T 11085-1996 立式涡轮分子泵通用技术条件

SJ/T 31157-1994 FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法

SJ/T 31412-1994 W型真空泵完好要求和检查评定方法

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。

按其性能特点及用途分类可以分为：低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。

1.低真空泵： 极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

2.中真空泵： 极限压力在102~10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

3.高真空泵： 极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的有各种扩散泵及分子泵等。

4.超高真空泵：极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。主要用各种离子泵、低温泵等。

随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。

真空泵的极限压强-泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。

真空泵的抽气速率-泵的抽气速率单位是m³/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

真空泵的抽气量-单位是Pam³/s或Pal/s。是指泵入口的气体流量。

真空泵的起动压强-单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

真空泵的前级压强-单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

真空泵的最大前级压强-单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

真空泵的最大工作压强-单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

真空泵的压缩比-是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

真空泵的何氏系数-泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速 之比。

真空泵的抽速系数-泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

真空泵的返流率-泵的返流率 单位是g/cm²·s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

水蒸气允许量-单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

最大允许水蒸气入口压强-单位是Pa。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

人们在回顾真空科学发展史时，或许是受翻译国外书刊的影响，常常误认为1643年的托里拆利的压力试验和1650年葛利克发明抽气机是，对真空这一现象的最早发现，实则不然。

其实，早在公元前六世纪，我国就将“风箱鼓风法”运用到冶金技术中，那时的风箱被称为“鞲鞴（bèi bèi）”。战国时期的“老子道德经”一书记载道，“鞲鞴”是“虏而不屈、动而愈出”，这是最早利用真空吸气原理的有记载的描述。而欧洲到十六世纪才发明类似的设备。

中国晋朝炼丹家和医药学家葛洪（公元218~316年）在“肘后备急方”中所介绍的利用气体的热胀冷缩创造的“拔火罐”医疗法，也正是真空技术在医学上应用的具体例证，因为发生在火罐里的现象正是一个获得真空和应用真空的完好过程。这种获得真空的方法比托里拆利利用水银赶走玻璃管中的大气而获得真空的方法还要高明。因为在罐内燃纸加热大气时，不但能赶走罐内的部分大气，而且还可以把罐中的氧气烧掉，这至少可以使罐中产生五分之四个大气压力的真空，即相当于在罐中获得6×10⁴Pa的低压。

至于葛利克的抽气机与我国古代所采用的风箱抽气比较，在抽气原理上是相同的。不过在我国“天工开物”一书中记载的利用“风箱鼓风炼铁”，要比葛利克抽出他的“金属半球”中的气体，在时间上至少早几百年。

因此，我们在回顾真空科学发展历程时，不应忘记我们的祖先对人类在早期发展真空技术所作出的贡献。